超純水設備助力半導體元器件高質量生產

　　電子元器件作為核心基礎零部件，是戰略性新興產業發展的重點領域之一，也是支撐新興產業發展的重點基礎產品。近年來，電子元器件產業發展勢頭迅猛，產業規模與質量效益同步實現，為經濟發展提供了強勁動力。

　　電子元器件產業鏈的上游是原材料，主要包括光電材料、半導體材料、磁性材料等。在半導體生產中，超純水用于晶圓沖洗、化學稀釋、化工機械研磨、潔凈室環境的加濕等多種場合，超純水的質量直接關系到半導體的良品率。萊特萊德超純水設備采用獨特的靶向離子交換系統去除超純水中的硼離子，可以將硼離子含量穩定的控制在3PPT以下，采用獨有工藝可以控制在1PPT以下，同時連續穩定地生產高純度的超純水。目前廣泛應用于晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍、試劑稀釋、氟化工等領域。

　　萊特萊德超純水設備是將反滲透系統、EDI裝置和拋光混床工藝，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度。超純水設備的EDI處理裝置廢水產出量少，不會對環境造成污染，具有非常高的環境效益和經濟效益。精混床經過技術升級后，無需任何操作即可穩定運行，出水水質可以滿足芯片生產用水的相關標準，降低企業的生產成本。

　　萊特萊德超純水設備產出超純水滿足ASTM D5127-13中E1.3水質指標，符合半導體元器件生產用水需求。萊特萊德超純水設備可以連續穩定地制備品質優良的超純水，助力半導體企業的發展，從而幫助企業提高市場競爭力。

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　　編輯：虞美人 技術：木子