超純水設備產水連續穩定，由多介質過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器等組成預處理系統，綜合反滲透系統、EDI系統、拋光混床等構成主要工藝，結構設計緊湊，不會因為樹脂再生停止運行。...

超純水設備主要采用反滲透工藝和EDI工藝以及拋光混床工藝聯合制備超純水，這樣可以將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不分解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度。...

超純水設備經過多年實踐檢驗，采用反滲透、EDI裝置結合拋光混床模塊化設計工藝，并結合膜分離技術，出水電阻率可達18 MΩ*cm(25℃)，能夠用來為化學實驗生產質量穩定的超純水。...

超純水設備可以去除水中的微粒、有機物、無機物和其他雜質，確保水質達到極高純度，從而保證硅晶圓的質量。...

EDI超純水設備是生產超純水的專用技術設備，采用了“反滲透+EDI+混床拋光”相結合的技術工藝，確保產出的超純水質量符合《儀器分析用高純水規格及試驗方法》中規定的超純水電阻率一般大于18MΩ?cm...

超純水設備能夠達到出水連續、無酸堿再生、無人值守、安裝簡單、操作方便的理想質量。...